根据市场收盘数据，中证半导体材料设备主题指数当日上涨1.3%，中证芯片产业指数紧随其后，涨幅达1.4%，而中证云计算与大数据主题指数则小幅回落0.4%。资金流向方面，半导体设备ETF易方达（159558）与芯片ETF易方达（516350）成为市场焦点，近一周内分别吸引4.3亿元和1.4亿元资金持续净流入，显示投资者对半导体产业链的长期信心。
东吴证券最新研报指出，国产半导体设备行业正站在历史性转折点上。随着全球半导体产业链向中国大陆转移，2026年有望成为行业扩产的明确起点。报告预测，未来三年半导体设备全行业订单增速将突破30%，其中刻蚀、薄膜沉积等关键设备环节的国产化率提升空间显著。这一判断基于国内晶圆厂资本开支计划的持续加码，以及设备厂商在28nm及以下制程的技术突破。
从资金动向看，ETF产品的持续吸金与行业基本面形成共振。以半导体设备ETF易方达为例，其跟踪的中证半导体材料设备主题指数覆盖了从硅片制造到封装测试的全产业链龙头，近期资金流入规模创下年内新高。市场分析人士认为，这种"指数上涨+资金净流入"的双重验证，表明机构投资者正在通过ETF工具布局半导体设备的长期成长逻辑。
